1.可镀膜口径500mm以内的元件;
2.薄膜材料:氧化物、金属氟化物、硫化物、硒化物、半导体材料和金属等;
3.能镀制1-15微米波长范围上的增透膜、高反膜、分光膜和滤光膜等;
4.典型应用:特种气体探测用红外滤光片;红外成像和测温用窗口增透膜;红外搜索跟踪多光谱成像分光膜等。
1.可镀膜口径410mm以内的元件;
2.薄膜材料:氧化物、氟化物和金属等;
3.能镀制200-2000nm波长范围上的增透膜、高反膜、分光膜和滤光膜等;
4.典型应用:紫外光刻和半导体量测用镜头组;可见-近红外精密光学成像元件;低吸收高损伤阈值激光薄膜元件;高保偏性能的激光通信系统应用的薄膜元件等。
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(天府兴隆湖实验室)
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