1.物理指标:支持定制化加工(1cm*1cm-8英寸晶圆)
2.光斑匀化效果:激光光束通过该具有微结构的镜片后,光斑能量分布由高斯尖顶型变为类平顶型;
3.扩散角:激光光束透过扩散片后光束扩散角2.5°±0.3°至5°±0.5°,可按需求加工;
4.工作波长范围:450~650nm;
5.透过率:450~650nm波长激光>97%。
1.类型:球面微透镜阵列,柱面微透镜阵列;
2.衬底:硅片、石英等;
3.加工口径:球透镜≤800μm,柱透镜≤700μm,更大口径需额外沟通;
4.通光口径φ:10mm-35mm;
5.面型:球面、非球面;
6.矢高:10-25μm;
7.曲率半径:6mm-8mm;
8.表面粗糙度小于10nm
9.微透镜的曲率半径和非球系数需额外沟通。
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(天府兴隆湖实验室)
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