微纳器件

微纳加工 微纳检测 微纳器件 光学镀膜 其他产品
微纳加工技术不仅对设备和加工条件要求很高,同时也对加工能力有着很高的要求,此外一些非常规的微纳器件加工长期被国外垄断,造成相关产业的发展一直受制于人。实验室立足于打破国外技术封锁和实现国内技术创新,基于现有的工艺条件已经加工出以下微纳器件:微透镜、激光扩散片、接近接触式掩膜、DOE多台阶光学器件、液晶元器件、超构表面等。
集成光电子芯片测试
产品简介
扩散片为折射型连续面型微透镜阵列结构。激光光束通过微透镜阵列后光束被分割,光束能量被分散,不同能量的子光束之间经过相互叠加,使光束能量分布均匀,在目标面上获得匀化光斑。本产品通过特殊的随机排布,打破微透镜阵列的周期性,降低匀化过程中的相干性,获得高能量利用率的匀化光斑。可广泛应用于含有激光光源的消费类电子(激光投影、激光电视)、车载显示设备、光束整形设备等领域。
能力 / 指标

1.物理指标:支持定制化加工(1cm*1cm-8英寸晶圆)

2.光斑匀化效果:激光光束通过该具有微结构的镜片后,光斑能量分布由高斯尖顶型变为类平顶型;

3.扩散角:激光光束透过扩散片后光束扩散角2.5°±0.3°至5°±0.5°,可按需求加工;

4.工作波长范围:450~650nm;

5.透过率:450~650nm波长激光>97%。


产品简介
微透镜是一种小型的光学元件,能够对光线进行聚焦或发散。微透镜阵列则是由多个微透镜按照一定规律排列而成。它们基于折射或反射原理,改变光线的传播路径。本产品具有高精度、小型化、集成度高的特点。能提供高效的光控制,且性能稳定。
应用场景与用途:
1.激光切割设备,激光焊接设备,激光熔覆等设备;
2.光纤飞秒激光抽运的非线性光学频率变换器件;
3.半导体激光快速退火设备;
4.光学全息投影光源;
5.投影光刻机均光照明系统。
能力 / 指标

1.类型:球面微透镜阵列,柱面微透镜阵列;

2.衬底:硅片、石英等;

3.加工口径:球透镜≤800μm,柱透镜≤700μm,更大口径需额外沟通;

4.通光口径φ:10mm-35mm;

5.面型:球面、非球面;

6.矢高:10-25μm;

7.曲率半径:6mm-8mm;

8.表面粗糙度小于10nm

9.微透镜的曲率半径和非球系数需额外沟通。


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