1.垂直分辨率1A以内,垂直测量范围0-327μm;
2.探针压力范围:0.5-500mg;
3.垂直重复性:4A;
4.探针尺寸:2μm;
5.样品台XY移动距离200mm。
1.测定光谱范围:2.5-25μm;
2.光谱分辨率:优于0.5cm-1;
3.信噪比:40000:1(1分钟测试,4cm-1分辨率,峰峰值);
4.大气背景补偿:实时大气背景校准,可实时扣除空气中的水蒸气和二氧化碳气体的红外吸收。
1.可以测试直流电导率、直流电阻率、载流子浓度、载流子散射时间、载流子迁移率等的表面均匀性的二维成像结果;
2.基片尺寸:8英寸及以下尺寸样品;
3.最高分辨率:50 μm;
4.最快扫描测量速度:12 cm²/min。
1.测定波数范围:14700-350cm-1;
2.光谱分辨率:优于0.4cm-1;
3.波数准确性:优于0.01 cm-1;
4.波数重现性:优于0.007 cm-1;
5.信噪比:55000:1(1分钟测试,4cm-1分辨率,峰峰值)。
1.覆盖波段:1260-1360nm、1355-1485nm和1480-1640nm;
2.波长分辨率≤2pm。
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(天府兴隆湖实验室)
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