微纳检测

微纳加工 微纳检测 微纳器件 光学镀膜 其他产品
实验室已形成较全面的微纳检测能力,能针对样品的电、磁、热、力等性能进行系统专业检测。包括形貌检测分析能力,实现表面轮廓、表面形貌、粗糙度、台阶高度、显微结构、纳米级形貌特征、元素分布、电位衬度等特征分析;光学性能分析能力,实现样品的透过率、反射率、吸光度、散射度等光学参数测定以及光谱测量;电学性能分析能力,实现样品的直流电阻率,载流子浓度、散射时间、迁移率,表面均匀性测试,电阻率、磁电阻、微分电阻等测试;材料分析能力,实现材料的物相定性、晶格结构测定,粉末、薄膜、高分子、有机、无机等各种材料的表面化学组成、价态分析与表征,结构鉴定、元素的定性、定量分析;微波电磁性能检测能力,实现多种产品类型的天线调试、测试、诊断和检验能力;应用环境适应性测试能力,实现高低温环境下的适应性能力分析。
微纳形貌检测
产品简介
通过探针在样品表面扫描,获取表面的台阶高度、粗糙度等,广泛应用于半导体、光学、材料科学等领域。
能力 / 指标

1.垂直分辨率1A以内,垂直测量范围0-327μm;

2.探针压力范围:0.5-500mg;

3.垂直重复性:4A;

4.探针尺寸:2μm;

5.样品台XY移动距离200mm。

光学性能检测
产品简介
红外光谱测试是一种用于测量物质红外波段透射、反射、吸收光谱的手段,通常通过测量物质的透、反射光谱获取相应的光学性能参数,主要测试功能如下:
(1)常规样品2.5-25μm透射测试。
(2)漫射样品2.5-16μm透、反射测试。
(3)漫射样品2.5-16μm变角度(0-180°)吸收谱测试。
(4)微区样品(50*50μm以上)2.5-16μm透、反射测试。
(5)8寸Wafer多点2.5-25μm透、反射测试。
能力 / 指标

1.测定光谱范围:2.5-25μm;

2.光谱分辨率:优于0.5cm-1;

3.信噪比:40000:1(1分钟测试,4cm-1分辨率,峰峰值);

4.大气背景补偿:实时大气背景校准,可实时扣除空气中的水蒸气和二氧化碳气体的红外吸收。


电磁性能检测
产品简介
实现石墨烯、半导体薄膜和其他二维材料全面积无损电学特性测量,采用脉冲太赫兹时域光谱技术,能够满足测试面积从科研级(mm2)到晶元级(cm2)的不同要求。
能力 / 指标

1.可以测试直流电导率、直流电阻率、载流子浓度、载流子散射时间、载流子迁移率等的表面均匀性的二维成像结果;

2.基片尺寸:8英寸及以下尺寸样品;

3.最高分辨率:50 μm;

4.最快扫描测量速度:12 cm²/min。

成分结构分析
产品简介
红外光谱测试是一种用于测量物质红外波段透射、反射、吸收光谱的手段,通常通过物质分子对红外辐射的特征吸收对其进行定性分析,同时,物质对红外辐射的吸收符合朗伯-比尔定律,故也可用于定量分析,常规测试功能如下:
(1)常规样品宽光谱成分分析测试。
(2)8寸Wafer样品多点400-4000 cm-1光谱成分分析测试。
能力 / 指标

1.测定波数范围:14700-350cm-1;

2.光谱分辨率:优于0.4cm-1;

3.波数准确性:优于0.01 cm-1;

4.波数重现性:优于0.007 cm-1;

5.信噪比:55000:1(1分钟测试,4cm-1分辨率,峰峰值)。

集成光电子芯片测试
产品简介
提供集成光电子芯片和晶圆光学性能测试,可实现大范围光波长扫描,测试光器件的插损、光谱响应、偏振相关损耗等。
能力 / 指标

1.覆盖波段:1260-1360nm、1355-1485nm和1480-1640nm;

2.波长分辨率≤2pm。


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